논문상세정보
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- 저자 박철우 박재화 홍윤표 오동근 최봉근 이성국 심광보 Park, Cheol Woo Park, Jae Hwa Hong, Yoon Pyo Oh, Dong Keun Choi, Bong Geun Lee, Seong Kuk Shim, Kwang Bo
- 제어번호 101122243
- 학술지명 한국결정성장학회지
- 권호사항 Vol. 24 No. 6 [ 2014 ]
- 발행처 한국결정성장학회
- 발행처 URL http://www.kacg.net
- 자료유형 학술저널
- 수록면 237-241
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 AlN etching Etchpit KOH/NaOH Radiuscurvature Wet etching
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