연구동향 분석

MEMS 기반 안전 소자에 대한 액정 폴리머 패키지의 밀폐도 연구

최진일 ( Jinnil Choi ) 김용국 ( Yong Kook Kim ) 주병권 ( Byeong Kwon Ju ) 2015년

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논문상세정보
인용/피인용
' MEMS 기반 안전 소자에 대한 액정 폴리머 패키지의 밀폐도 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 전자공학
  • capacitivetypehumiditysensor
  • hermeticity
  • lcp
  • mems
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
2,424 0

0.0%

' MEMS 기반 안전 소자에 대한 액정 폴리머 패키지의 밀폐도 연구' 의 참고문헌

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    S. Chang Liu Adv. Mater 19 : 3783 ~ 3790 [2007]
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    A. Margomenos IEEE trans. on microwave theory and techniques 52 (6) : 1626 ~ 1636 [2004]
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