직류 마그네트론 스퍼터법에 의한 AlNO 복층박막의 제조와 특성

논문상세정보
' 직류 마그네트론 스퍼터법에 의한 AlNO 복층박막의 제조와 특성' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • absorptance
  • gasmixture
  • magnetronsputter
  • multi-layer
  • solar absorber
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
91 0

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