논문상세정보
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- 저자 석혜원 김세기 강양구 홍연우 이영진 주병권 Seok, Hye-Won Kim, Sei-Ki Kang, Yang-Koo Hong, Yeon-Woo Lee, Young-Jin Ju, Byeong-Kwon
- 제어번호 101055054
- 학술지명 전기전자재료학회논문지
- 권호사항 Vol. 27 No. 12 [ 2014 ]
- 발행처 한국전기전자재료학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 815-819
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 AlNthinfilm Oilpressure Piezoelectric transducer RFreactivesputtering
