4H-SiC기판 위에 Aerosol Deposition으로 증착된 Al₂O₃박막의 후열처리 효과

유수산나 강민석 김홍기 이영희 구상모 Yu, Susanna Kang, Min-Seok Kim, Hong-Ki Lee, Young-Hie Koo, Sang-Mo 2014년

논문상세정보

인용/피인용

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	$al_2o_3$ 4h-sic aerosol deposition postannealingeffect
91	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 논문영향력
주제어	$al_2o_3$	22	0.0%
	4h-sic	54	0.0%
	aerosol deposition	14	0.0%
	postannealingeffect	1	0.0%
계		91	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수

4H-SiC기판 위에 Aerosol Deposition으로 증착된 Al2O3박막의 후열처리 효과