연구동향 분석

2축 정전부양형 MEMS 자이로스코프의 향상된 제작 공정 개발

석세영 ( Se Yeong Seok ) 임근배 ( Geun Bae Lim ) 2015년

논문상세정보
인용/피인용
' 2축 정전부양형 MEMS 자이로스코프의 향상된 제작 공정 개발' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 전자공학
  • fabrication
  • gyroscope
  • mems
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
2,465 0

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' 2축 정전부양형 MEMS 자이로스코프의 향상된 제작 공정 개발' 의 참고문헌

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