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Pd 촉매금속의 표면형상 변형에 의한 고감도 MEMS 형 마이크로 수소가스 센서 제조공정

김범준 김정식 김정식,김범준 2014년

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논문상세정보

- 저자 김범준 김정식 김정식,김범준
- 주제어 Hydrogensensor MEMS nanoporousfilm palladium SENSITIVITY
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 5,868)

인용/피인용

Pd 촉매금속의 표면형상 변형에 의한 고감도 MEMS ...

' Pd 촉매금속의 표면형상 변형에 의한 고감도 MEMS 형 마이크로 수소가스 센서 제조공정' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	공학, 공업일반 hydrogensensor mems nanoporousfilm palladium sensitivity
5,857	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	공학, 공업일반	5,595	0	0.0%
주제어	hydrogensensor	24	0	0.0%
	mems	109	0	0.0%
	nanoporousfilm	1	0	0.0%
	palladium	29	0	0.0%
	sensitivity	116	0	0.0%
계		5,874	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0