연구동향 분석

원자층 증착법에 의한 Al₂O₃ 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지 필름의 기계적 물성에 미치는 영향

윤은영(Eun Young Yun) 이우재(Woo-Jae Lee) 장경수(Kyung Su Jang) 최현진(Hyun-Jin Choi) 최우창(Woo-Chang Choi) 권세훈(Se Hun Kwon) 2015년

논문상세정보
인용/피인용
' 원자층 증착법에 의한 Al₂O₃ 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지 필름의 기계적 물성에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 금속제조 및 가공업
  • al₂o₃ thin films
  • atomic layer deposition
  • mechanical properties
  • moth eye structure
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
884 0

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' 원자층 증착법에 의한 Al₂O₃ 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지 필름의 기계적 물성에 미치는 영향' 의 참고문헌

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