Fabrication of dense Al2O3 thin films using UV-enhanced ALD at room temperature
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저자
윤관혁
성명모
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제어번호
100476881
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학술지명
한국진공학회 학술발표회초록집
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권호사항
Vol.
2014
No.
8
[
2014
]
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발행처
한국진공학회
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발행처 URL
http://www.kvs.or.kr
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자료유형
학술저널
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수록면
199-199
(
1쪽)
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언어
English
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출판년도
2014
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KDC
420
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판매처
누리미디어
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주제어
Al2O3
ALD
'
Fabrication of dense Al2O3 thin films using UV-enhanced ALD at room temperature' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
| 주제 |
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| 동일주제 총논문수 |
논문피인용 총횟수 |
주제별 논문영향력의 평균 |
|
100
|
0
|
|
주제별 논문영향력
논문영향력
| 주제 |
주제별 논문수 |
주제별 피인용횟수 |
주제별 논문영향력 |
| 주제어 |
al2o3
|
35
|
0
|
|
|
ald
|
65
|
0
|
|
| 계 |
|
100
|
0
|
|
| * 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수 |
0
|
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