연구동향 분석

ITO 증착용 인라인 챔버 온도 분포해석에 의한 캐리어장치의 설계

이상재(Sang-jae Lee) 최주란(Ju-Ran Choi) 최성대(Seong-Dae Choi) 2015년

논문상세정보
인용/피인용
' ITO 증착용 인라인 챔버 온도 분포해석에 의한 캐리어장치의 설계' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 금속제조 및 가공업
  • carrier(캐리어)
  • chamber(챔버)
  • itodeposition(산화인듐주석증착)
  • phone glass(휴대폰 유리)
  • sputtering (스퍼터링)
  • temperature distribution analysis(온도분포해석)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
425 0

0.0%

' ITO 증착용 인라인 챔버 온도 분포해석에 의한 캐리어장치의 설계' 의 참고문헌

  • 원통형 이종 접합 소재의 SiO2/Ag스퍼터 증착과 온도 변화에 따른 기계적 특성에 관한 연구
    이승현 한국기계가공학회지 11 (3) : 138 ~ 145 [2012]
  • The Characteristic of Optimal Temperature Distribution in Vacuum Chamber for Inline Sputter
    Choi. J. R. J. of KSMTE 2014 (4) : 308 ~ [2014]
  • Study on Analyze of Thermal Distribution in Inline Sputtering Chambers
    Choi. J. R. J. of KSMPE 2013 (11) : 154 ~ [2013]
  • Carrier Form Design for Temperature Distribution Vacuum Chamber
    Choi. J. R. J. of KSMPE 2014 (4) : 17 ~ [2014]
  • A Study on ITO Deposition Characteristics according to Temperature Distribution of Vacuum Chamber
    Choi. J. R. J. of KSPE 2014 (5) : 487 ~ [2014]