논문상세정보
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- 저자 박대광(Dae-kwang Park) 조영태(Young-Tae Cho) 김재열(Jae-Yeol Kim)
- 제어번호 100404960
- 학술지명 한국기계가공학회지
- 권호사항 Vol. 13 No. 6 [ 2014 ]
- 발행처 한국기계가공학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 15-22 ( 8쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Capacitive-sensor(정전용량형센서) Globalstage(조동스테이지) LaserInterferometer(레이저인터페로메타) Linearmotion(직선운동) UltraPrecisionCuttingUnit(초정밀선반)
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