연구동향 분석

Tris DMASi 소스를 이용한 SiON 제작 및 반사방지막 응용

연제민(Je-Min Yeon) 강상준(Sang-Jun Kang) 정상현(Sang-Hyun Jeong) 찬타솜바스 시사바이(Chanthasombath Sisabay) 김광호(Kwang-Ho Kim) 2015년

논문상세정보
인용/피인용
' Tris DMASi 소스를 이용한 SiON 제작 및 반사방지막 응용' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 전산공학
  • hsin(ch₃)₂₃
  • pecvd
  • sion films
  • tris dimehylamino silane
  • tris dmasi
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
608 0

0.0%

' Tris DMASi 소스를 이용한 SiON 제작 및 반사방지막 응용' 의 참고문헌

  • 태양전지를 이용한 효과적인 가로등 디밍 제어 구현
    고태경 한국정보기술학회논문지 10 (11) : 25 ~ 33 [2012]
  • 태양전지를 이용한 유비쿼터스 헬스케어 장치 개발
    김남섭 한국정보기술학회논문지 11 (10) : 97 ~ 104 [2013]
  • 태양 전지의 고장 진단이 가능한 등주 제어기 설계 및 구현
    고태경 한국정보기술학회논문지 10 (10) : 1 ~ 9 [2012]
  • 결정질 실리콘 태양전지의 전계발광과 양자효율 측정 및 분석에 관한 연구
    서일원 광운대학교 대학원 [2013]
  • Silane MSDS
  • PECVD에 의한 SiON 박막 증착 시 생성되는 플라즈마 성질 및 박막 물성에 관한 연구
    김도형 고려대학교 대학원 [2002]
  • Investigation of Anti-Reflection Coatings for Crystalline Si Solar Cells
    J. D. Lee Journal of The Korean Solar Energy Society 29 (2) : 367 ~ 370 [2009]
  • ICP Source를 이용한 저온 증착 a-SiNx:H 특성 평가
    강성칠 전기전자재료학회논문지 24 (7) : 532 ~ 536 [2011]
  • Double layer 반사방지막 구조에 대한 태양전지 표면 반사율 simulation
    라창호 한국표면공학회지 43 (2) : 97 ~ 104 [2010]
  • A Study on the Optimization of the SiNx:H Film for Crystalline Silicon Solar Cells
    Y. D. Kim Journal of the Korean Vacuum Society 21 (1) : 29 ~ 38 [2012]