반도체 생산공정을 위한 고점도 감광성 폴리이미드 탈포 및 공급시스템에 관한 연구

박형근 2015년
' 반도체 생산공정을 위한 고점도 감광성 폴리이미드 탈포 및 공급시스템에 관한 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • bump
  • chemicalpumping
  • degassing
  • photosensitive polyimide
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
9 0

0.0%

' 반도체 생산공정을 위한 고점도 감광성 폴리이미드 탈포 및 공급시스템에 관한 연구' 의 참고문헌

  • 반도체 생산공정의 감광액 도포를 위한 FPCS에 관한 연구
    박형근 한국산학기술학회논문지 14 (9) : 4467 ~ 4471 [2013]
  • Understanding of semiconductor and status of semiconductor industry
  • Development of a Continuous-Flow System for the Growth of Compound Semiconductor Thin Films via Electrochemical Atomic Layer Epitaxy
    Ignacio Villegas Journal of The Electrochemical Society 146 (1) : 117 ~ 124 [1999]
  • Development of DWCCS for Chemical Temperature Control of Semiconductor Manufacturing
    Hyoung-Keun Park International Journal of Control and Automation 6 (3) : 125 ~ 132 [2013]
  • Continuous chemical vapor deposition processing with a moving finite thickness susceptor
    Wilson K. S. Chiu Journal of Materials Research 15 (02) : 317 ~ 328 [2000]