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반도체 생산공정을 위한 고점도 감광성 폴리이미드 탈포 및 공급시스템에 관한 연구
박형근
2015년
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도
공유도
영향력
논문상세정보
저자
박형근
주제어
BUMP
ChemicalPumping
Degassing
Photosensitive Polyimide
참고문헌( 5)
유사주제 논문( 5)
degassing 4건
photosensitive polyimide 1건
인용/피인용
반도체 생산공정을 위한 고점도 감광성 폴리이미드 탈 ...
' 반도체 생산공정을 위한 고점도 감광성 폴리이미드 탈포 및 공급시스템에 관한 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
주제
bump
chemicalpumping
degassing
photosensitive polyimide
동일주제 총논문수
논문피인용 총횟수
주제별 논문영향력의 평균
9
0
0.0%
자세히
주제별 논문영향력
논문영향력
주제
주제별 논문수
주제별 피인용횟수
주제별 논문영향력
주제어
bump
1
0
0.0%
chemicalpumping
1
0
0.0%
degassing
5
0
0.0%
photosensitive polyimide
2
0
0.0%
계
9
0
0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수
0
닫기
' 반도체 생산공정을 위한 고점도 감광성 폴리이미드 탈포 및 공급시스템에 관한 연구'
의 참고문헌
반도체 생산공정의 감광액 도포를 위한 FPCS에 관한 연구
박형근
한국산학기술학회논문지 14 (9) : 4467 ~ 4471
[2013]
Understanding of semiconductor and status of semiconductor industry
Korea semiconductor industry association
Development of a Continuous-Flow System for the Growth of Compound Semiconductor Thin Films via Electrochemical Atomic Layer Epitaxy
Ignacio Villegas
Journal of The Electrochemical Society 146 (1) : 117 ~ 124
[1999]
Development of DWCCS for Chemical Temperature Control of Semiconductor Manufacturing
Hyoung-Keun Park
International Journal of Control and Automation 6 (3) : 125 ~ 132
[2013]
Continuous chemical vapor deposition processing with a moving finite thickness susceptor
Wilson K. S. Chiu
Journal of Materials Research 15 (02) : 317 ~ 328
[2000]
' 반도체 생산공정을 위한 고점도 감광성 폴리이미드 탈포 및 공급시스템에 관한 연구'
의 유사주제(
) 논문