연구동향 분석

6-자유도 초정밀 위치 결정 스테이지의 비선형성 식별을 위한 로스트 모션 해석

신현표(Hyun-Pyo Shin) 문준희(Jun-Hee Moon) 2015년

논문상세정보
인용/피인용
' 6-자유도 초정밀 위치 결정 스테이지의 비선형성 식별을 위한 로스트 모션 해석' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 정밀기계
  • flexurehinge(플렉셔힌지)
  • lostmotion(로스트모션)
  • parallel mechanism (병렬 기구)
  • positioning stage (위치 결정 스테이지)
  • ultra-precision (초정밀)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
307 0

0.0%

' 6-자유도 초정밀 위치 결정 스테이지의 비선형성 식별을 위한 로스트 모션 해석' 의 참고문헌

  • 초정밀 구동을 위한 6자유도 스테이지의 설계와 모델링
    문준희 한국정밀공학회지 26 (6) : 106 ~ 113 [2009]
  • Six-Dof Micro-Manipulator based on Compliant Parallel Mechanism with Integrated Force Sensor
    Liang, Q. Robotics and Computer-Integrated Manufacturing 27 (1) : 124 ~ 134 [2011]
  • Passive Compliant Wafer Stage for Single-Step Nano-Imprint Lithography
    Choi, K.-B. Review of Scientific Instruments 76 (7) [2005]
  • Fine Motion Control of a Moving Stage using a Piezoactuator Associated with a Displacement Amplifier
    Choi, S. Smart Materials and Structures 14 (1) [2005]
  • Design, Analysis, Fabrication and Testing of a Parallel-Kinematic Micropositioning XY Stage
    Yao, Q. International Journal of Machine Tools and Manufacture 47 (6) : 946 ~ 961 [2007]
  • Design and Implementation of a New Six-Dof Maglev Positioner with a Fluid Bearing
    Chen, M. -Y. IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 16 (3) : 449 ~ 458 [2011]
  • Design and Characterization of a Low-Profile Micropositioning Stage
    Yang, R. Precision Engineering 18 (1) : 20 ~ 29 [1996]
  • Antagonistic Stiffness Optimization of Redundantly Actuated Parallel Manipulators in a Predefined Workspace
    Shin, H. IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 18 (3) : 1161 ~ 1169 [2013]
  • Active vibration control using a Novel Three-Dof Precision Micro-Stage
    Kim, H. S. Smart Materials and Structures 19 (5) [2010]
  • A Precision Piezodriven Micropositioner Mechanism with Large Travel Range
    Chang, S. Review of Scientific Instruments 69 (4) : 1785 ~ 1791 [1998]