논문상세정보
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- 저자 최경호(K.H. Choi) 김한수(H.S. Kim) 신동혁(D. H. Shin) 위창현(C. H.We) 강은구(E.G. Kang)
- 제어번호 100319483
- 학술지명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
- 권호사항 Vol. 2014 No. 10월 [ 2014 ]
- 발행처 한국정밀공학회
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 805-805 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- KDC 555
- 판매처 누리미디어
- 주제어 electron beam FocusingGeometry surface
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