논문상세정보
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- 저자 김민제(Min-Je Kim) 정재헌(Jae-Heon Jung) 송풍근(Pung-Keun Song)
- 제어번호 100260264
- 학술지명 한국표면공학회지
- 권호사항 Vol. 47 No. 6 [ 2014 ]
- 발행처 한국표면공학회
- 발행처 URL http://www.kisehome.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 311-315 ( 5쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 ITO Postannealing ReactiveDCsputtering Thin film
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