-
- 저자 이세리(Seri Lee) 오승근(Seungkeun Oh) 김영만(Youngman Kim)
- 제어번호 100260263
- 학술지명 한국표면공학회지
- 권호사항 Vol. 47 No. 6 [ 2014 ]
- 발행처 한국표면공학회
- 발행처 URL http://www.kisehome.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 303-310 ( 8쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 E-beamevaporation grain size In-situ Stress shift Thin film