구리 박막 제조중 증착 중단시 박막 결정립 크기 변화가 인장응력 방향으로의 응력 이동에 미치는 영향

논문상세정보
' 구리 박막 제조중 증착 중단시 박막 결정립 크기 변화가 인장응력 방향으로의 응력 이동에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 금속제조 및 가공업
  • e-beamevaporation
  • grain size
  • in-situ
  • stress shift
  • thin film
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
687 0

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