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- 저자 이민호(Minho Lee) 조남규(Nahm-Gyoo Cho)
- 제어번호 100259661
- 학술지명 대한기계학회 춘추학술대회
- 권호사항 Vol. 2014 No. 11 [ 2014 ]
- 발행처 대한기계학회
- 발행처 URL http://www.ksme.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 2432-2437 ( 6쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- KDC 550
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Ball-lens(볼렌즈) Geometricerrormotion(기하학적오차운동) Linearstage(선형이송기구) PSD(위치민감센서) Retro-reflector(역반사기)