논문상세정보
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- 저자 신병철(Byeongcheol Shin) 이호준(Hojun Lee) 정해도(Haedo Jeong)
- 제어번호 100258953
- 학술지명 대한기계학회 춘추학술대회
- 권호사항 Vol. 2014 No. 11 [ 2014 ]
- 발행처 대한기계학회
- 발행처 URL http://www.ksme.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 1150-1152 ( 3쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- KDC 550
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Cadmiumtelluride(카드뮴텔룰라이드) Chemicalmechanicalpolishing(화학적기계적연마) Material Removal Rate(재료제거율) SlurryTemperature(슬러리온도) Surface roughness (표면 거칠기)
