연구동향 분석

주사전자현미경 렌즈의 해석을 통한 최적의 빔 특성 연구

배진호(Jin ho Bae) 김동환(Dong Hwan Kim) 2015년

논문상세정보
인용/피인용
' 주사전자현미경 렌즈의 해석을 통한 최적의 빔 특성 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 기계공학
  • beam characteristics(빔 특성)
  • columndesign(경통설계)
  • designparameter(설계인자)
  • lensanalysis(렌즈해석)
  • optimal design (최적설계)
  • ray tracing(광선추적)
  • sem(주사전자현미경)
  • sensitivity analysis (민감도 분석)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
1,011 0

0.0%

' 주사전자현미경 렌즈의 해석을 통한 최적의 빔 특성 연구' 의 참고문헌

  • 유한요소해석과 광선추적을 연계한 주사전자 현미경 대물렌즈의 설계 및 해석
    박근 한국정밀공학회지 26 (11) : 92 ~ 98 [2009]
  • http://advressys.com/analytic/sem.htm
  • The Application of Parameter Sensitivity Analysis Methods to Inverse Simulation Models
    Murray-Smith, D. J. Mathematical and Computer Modelling of Dynamical Systems 19 (1) : 69 ~ [2013]
  • Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis
    Lee, R. E. P T R prentice Hall : 68 ~ 69 [1993]
  • Scanning Electron Microscopy
    Reimer, L. Springer : 1 ~ 3 [1998]
  • Raster San Waveform Compensation Control for Enhancing the Orthogonality of Images in SEM
    Kim, S. J. Microscopy 62 (4) : 476 ~ [2013]
  • Parameter Optimization and Sensitivity Analysis for Large Kinetic Models Using a Real-Coded Genetic Algorithm
    Tohsato, Y. Gene 518 (1) : 86 ~ [2013]
  • OPTICS – Software for Electron and Ion Beam Column Design
    Munro, E. MEBS Ltd. : 112 ~ [2005]
  • Numerical Analysis for Verifying the Performance of Lens System in a Scanning Electron Microscope
    Kim, D. H. Optik 121 : 330 ~ 338 [2010]
  • Finite Element Analysis for Electron Optical System of a Scanning Electron Microscope
    Jumg, H. W. Seoul National University of Science and Technology [2008]
  • Design and fabrication of a scanning electron microscope using a finite element analysis for electron optical system
    박만진 Journal of Mechanical Science and Technology 22 (9) : 1734 ~ 1746 [2008]