비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동

논문상세정보
' 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 탄화붕소박막의 증착거동' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • boroncarbide
  • crystallization
  • sputtering
  • thin films
  • transmission electron microscopy
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
247 0

0.0%