논문상세정보
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- 저자 최창용 김종범 조정건 장성호 손영일 류재용
- 제어번호 100176112
- 학술지명 한국폐기물자원순환학회지
- 권호사항 Vol. 31 No. 3 [ 2014 ]
- 발행처 한국폐기물자원순환학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 243-249 ( 7쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- KDC 539.97
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 호서대학교(아산) 학술지원과
- 판매처
- 주제어 Electron-beam NF3 PFCs Semiconductor process
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인용/피인용
