논문상세정보
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- 저자 강동수(Dong-Soo Kang) 이붕주(Boong-Joo Lee) 권홍규(Hong-Kyu Kwon) 신백균(Paik-Kyun Shin)
- 제어번호 100138629
- 학술지명 전기학회논문지
- 권호사항 Vol. 63 No. 11 [ 2014 ]
- 발행처 대한전기학회
- 발행처 URL http://www.kiee.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 1533-1537 ( 5쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Multi layer Processgasflowratio WO₃thinfilm
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