레이저 습식 후면 식각공정을 이용한 미세 유리 구조물 제작

논문상세정보
' 레이저 습식 후면 식각공정을 이용한 미세 유리 구조물 제작' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 기계공학
  • glassmicrostructure(유리미세구조물)
  • lasermachining(레이저가공)
  • libwe(레이저습식후면식각공정)
  • ultrasonic vibration(초음파 진동)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
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