연구동향 분석

논문 : 진공열처리에 따른 IGZO 박막의 특성 변화

김소영 ( So Young Kim ) 김선경(Sun-Kyung Kim) 김승홍(Seung-Hong Kim) 전재현 ( Jae Hyun Jeon ) 공태경 ( Tae Kyung Gong ) 손동일(Dong-Il Son) 최동혁 ( Dong Hyuk Choi ) 김대일 ( Daeil Kim ) 2014년

논문상세정보
인용/피인용
' 논문 : 진공열처리에 따른 IGZO 박막의 특성 변화' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • figure of merit
  • igzo
  • rf magnetron sputter
  • vacuumannealing
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
103 0

0.0%

' 논문 : 진공열처리에 따른 IGZO 박막의 특성 변화' 의 참고문헌

  • 화학세계, 디스플레이의 메가트랜드, 산화물(Oxide) TFT 기술
    박상희 [2013]
  • 한국해양정보통신학회논문지 15 : 1559 ~
    정윤근 [2011]
  • 전자빔 조사 에너지에 따른 GZO/TiO₂ 박막의 물성변화
    허성보 울산대학교 대학원 [2013]
  • 산화물 반도체 비정질 IGZO 박막의 전기, 광학적 특성 연구
    김상훈 청주대학교 대학원 [2011]
  • 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 AZO 박막의 특성에 대한 급속 열처리 효과
    조신호 한국진공학회지 18 (5) : 377 ~ 383 [2009]
  • 고주파 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 ZnO:Ga,In(IGZO) 박막의 특성
    김형민 전기전자재료학회논문지 26 (1) : 56 ~ 63 [2013]
  • Thin Solid Films 517 : 6129 ~ 6136
  • Thin Solid Films 21
    Katsumi Abe [2013]
  • Solid-State Electronics 53 : 329 ~ 331
    P. Gorm [2009]
  • RF-마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 In1.6Zn0.2Sn0.2O3-δ 박막의 투과율 및 전기 전도성에 미치는 증착 온도의 영향
    서한 한국세라믹학회지 49 (6) : 663 ~ 668 [2012]
  • RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착 된 GZO 박막의 진공 열처리온도에 따른 구조적, 광학적, 전기적 특성 연구
    김대일 열처리공학회지 24 (4) : 199 ~ 202 [2011]
  • RF Power에 따른 Amorphous-InGaZnO 박막의 특성 변화
    김상훈 전기전자재료학회논문지 23 (4) : 293 ~ 297 [2010]
  • Nature 432 : 488 ~ 492
    K. Nomura [2004]
  • J. Appl. Phys 47 : 4086 ~
    G. Haacke [1976]
  • Co-sputter법으로 제작된 IGZO박막의 특성과 진공열처리에 따른 특성 변화
    이학민 울산대학교 대학원 [2013]
  • 박사
    AHP를 이용한 대형 AMOLED Backplane 산화물 TFT 선정에 관한 연구
    김재선 성균관대학교 대학원 [2013]