포스터발표 : 나노; 1P-35 : SPS 공정을 이용한 반도체 배선용 Cu-Mg 스퍼터링 타겟의 제조 및 미세조직 분석

논문상세정보
' 포스터발표 : 나노; 1P-35 : SPS 공정을 이용한 반도체 배선용 Cu-Mg 스퍼터링 타겟의 제조 및 미세조직 분석' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • cu-alloy
  • metallization
  • powder metallurgy
  • sps
  • sputtering target
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
71 0

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