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포스터발표 : 나노; 1P-35 : SPS 공정을 이용한 반도체 배선용 Cu-Mg 스퍼터링 타겟의 제조 및 미세조직 분석
장준호
박현국
서석장
오익현
우기도
2014년
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도
공유도
영향력
논문상세정보
저자
장준호
박현국
서석장
오익현
우기도
제어번호
100052810
학술지명
한국공업화학회 연구논문 초록집
권호사항
Vol. 2014 No. 0 [ 2014 ]
발행처
한국공업화학회
자료유형
학술저널
수록면
163-163 ( 1쪽)
언어
-
출판년도
2014
KDC
500
판매처
한국학술정보
주제어
Cu-alloy
metallization
powder metallurgy
SPS
Sputtering target
참고문헌( 0)
유사주제 논문( 66)
sps 41건
powder metallurgy 10건
metallization 9건
sputtering target 6건
인용/피인용
포스터발표 : 나노; 1P-35 : SPS 공정을 이용한 반 ...
' 포스터발표 : 나노; 1P-35 : SPS 공정을 이용한 반도체 배선용 Cu-Mg 스퍼터링 타겟의 제조 및 미세조직 분석' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
주제
cu-alloy
metallization
powder metallurgy
sps
sputtering target
동일주제 총논문수
논문피인용 총횟수
주제별 논문영향력의 평균
71
0
0.0%
자세히
주제별 논문영향력
논문영향력
주제
주제별 논문수
주제별 피인용횟수
주제별 논문영향력
주제어
cu-alloy
1
0
0.0%
metallization
10
0
0.0%
powder metallurgy
11
0
0.0%
sps
42
0
0.0%
sputtering target
7
0
0.0%
계
71
0
0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수
0
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