논문상세정보
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- 저자 최주란(J.R. Choi) 최성대(S.D. Choi) 김현제(H. J. Kim) 임남수(N.S. Yim)
- 제어번호 100023925
- 학술지명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
- 권호사항 Vol. 2014 No. 5월 [ 2014 ]
- 발행처 한국정밀공학회
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 487-487 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- KDC 550
- 판매처 누리미디어
- 주제어 ITODeposition Temperature Distribution Vacuumchamber
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