논문상세정보
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- 저자 이경범(G. B. Lee) 최병호(B. -H. Choi) 한권덕(G. W. Han) 심준형(J. H. Shim)
- 제어번호 100023586
- 학술지명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
- 권호사항 Vol. 2014 No. 5월 [ 2014 ]
- 발행처 한국정밀공학회
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 128-128 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- KDC 550
- 판매처 누리미디어
- 주제어 ALD Polycarbonate Thin film
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