논문상세정보
-
- 저자 김기환(K. H. KIM) 장동영(D. Y. Jang) 박만진(M. J. Park)
- 제어번호 100023401
- 학술지명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
- 권호사항 Vol. 2014 No. 5월 [ 2014 ]
- 발행처 한국정밀공학회
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 1043-1044 ( 2쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- KDC 550
- 판매처 누리미디어
- 주제어 aperture Condenserlens Einzeltype ElectrostaticSEM
유사주제 논문( 13)
