연구동향 분석

표면파의 분산 특성을 이용한 Ni 박막의 두께 측정

박태성(Tae-Sung Park) 곽동열(Dong-Ryul Kwak) 박익근(Ik-Keun Park) 김미소(Miso Kim) 이승석(Seung-Seok Lee) 2014년

논문상세정보
인용/피인용
' 표면파의 분산 특성을 이용한 Ni 박막의 두께 측정' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 공학, 공업일반
  • dispersion
  • scanningacousticmicroscopy
  • surfacewavevelocity
  • thinfilmthickness
  • v(z)curve
  • v(z)곡선
  • 박막두께
  • 분산특성
  • 초음파현미경
  • 표면파속도
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
5,711 2

0.0%

' 표면파의 분산 특성을 이용한 Ni 박막의 두께 측정' 의 참고문헌

  • 전자빔 증착법에 의해 형성된 MgO박막의 증착 및 특성
    이춘호 한국세라믹학회지 39 (12) : 1117 ~ 1176 [2002]
  • 마이크로/나노 비파괴평가 기술(Ⅱ): 음향특성계측
    김정석 비파괴검사학회지 32 (4) : 418 ~ 430 [2012]
  • 마이크로/나노 비파괴평가 기술(Ⅰ): 표면 및 표면직하 검사
    김정석 비파괴검사학회지 32 (2) : 198 ~ 209 [2012]
  • Surface analysis comparison of vacuum evaporation and thick-film printed MgO films in ac plasma displays
    K. Machida. The Society for Information Display Symposium : 531 ~ [1992]
  • Recent Advances in Scanning Acoustic Microscopy for Adhesion Evaluation of Thin Films
    Hyeong Sick Ju 비파괴검사학회지 29 (6) : 534 ~ 549 [2009]
  • Observation of V(z)curves with multiple echoes
    M. Duquennoy. NDT&E International 28 (3) : 147 ~ 153 [1995]
  • Micro and nano science and technology : naval perspective : 237 ~ 244
  • Institutional complementarity and inventive performance in nano science and technology
    A. Bonaccorsi. Research Policy 36 : 813 ~ 831 [2007]
  • EDS 분석과 모델링에 의한 박막두께 측정 방법에 관한 연구
    윤재진 전기전자재료학회논문지 24 (8) : 647 ~ 653 [2011]
  • Annealing process of evaporated MgO films in ac plasma display
    H. Uchiike. The Society for Information Display Symposium : 444 ~ [1991]
  • A model for predicting acoustic materials signatures
    R. D. Weglein Applied Physics Letter 34 : 179 ~ 181 [1978]