논문상세정보
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- 저자 허지인(J.I. Heo) 이현우(H.U.Lee) 박희섭(H.S Park) 김미선(M.S Kim)
- 제어번호 100010666
- 학술지명 한국생산제조시스템학회 학술발표대회 논문집
- 권호사항 Vol. 2014 No. 4 [ 2014 ]
- 발행처 한국생산제조학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 329-329 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 판매처 누리미디어
- 주제어 ChemicalMechanicalPolishing Nanodiamond Sapphire wafer
