논문상세정보
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- 저자 Kim, Juhwan
- 기타서명 Cu 화학적 기계적 평탄화에서 슬러리 특성의 영향에 대한 연구
- 형태사항 ix, 89 p.: ill., charts: 30 cm
- 일반주기 Advisor: Taesung Kim, Includes bibliographical reference(p. 71-87)
- 학위논문사항 Sungkyunkwan University, Department of Mechanical Engineering, 2023. 2, Thesis (Ph.D.)-
- 발행지 Seoul
- 언어 eng
- 출판년 2023
- 발행사항 Sungkyunkwan University
- 주제어 Mixed abrasive slurry Slurry supply system CMP CuCMP Hydrogen peroxide
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