연구동향 분석

반도체 CMP 공정의 효율화를 위한 장비 Compact화에 대한 연구 = Research on compact equipment for efficient semiconductor CMP process

김광철 2021년

논문상세정보
    • 저자 김광철
    • 형태사항 85 p.: 삽화, 표: 26 cm
    • 일반주기 호서대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다, 지도교수: 김학수, 참고문헌: p. 79-81
    • 학위논문사항 2021.2, 호서대학교 기술경영전문대학원, 기술경영학과 스마트팩토리기술경영전공, 학위논문(박사)-
    • DDC 658, 23
    • 발행지 아산
    • 언어 kor
    • 출판년 2021
    • 발행사항 호서대학교 기술경영전문대학원
    • 주제어 Compact화 CMP 효율화
    유사주제 논문( 4,037)
인용/피인용
' 반도체 CMP 공정의 효율화를 위한 장비 Compact화에 대한 연구 = Research on compact equipment for efficient semiconductor CMP process' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 일반 경영
  • Compact화
  • cmp
  • 효율화
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
1,543 0

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