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- 저자 김준식
- 형태사항 xv, 136: 26 cm
- 일반주기 지도교수: 황철성
- 학위논문사항 2021. 2, 학위논문(박사)-, 재료공학부, 서울대학교 대학원
- DDC 620.1
- 발행지 서울
- 언어 eng
- 출판년 2021
- 발행사항 서울대학교 대학원
- 주제어 V-NAND amorhpous oxide semiconductor atomic layer deposition charge trap flash erasing operation NAND 플래시 메모리 thin film transistor tin oxide zin tin oxide zinc oxide 박막 트랜지스터 비정질 산화물 반도체 아연 산화물 원자층 증착법 이레이즈 동작 전하 저장 소자 주석산화물