ICP-MS 분석기술을 이용한 가스상 시료내 입자성 불순물의 직접 분석 = Direct determination of metallic impurities in gaseous sample using ICP-MS

유청 2021년
논문상세정보
' ICP-MS 분석기술을 이용한 가스상 시료내 입자성 불순물의 직접 분석 = Direct determination of metallic impurities in gaseous sample using ICP-MS' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • GDI-ICP-MS
  • 가스시료 직접분석
  • 가스치환
  • 불소계 다공성막
  • 확산
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
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