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박사

직접 방식을 이용한 반도체 장비용 정전척 냉각에 관한 연구 = A Study on Cooling of Electrostatic Chuck in Semiconductor Equipments using Direct Method

김대현 2019년

활용도
공유도
영향력

논문상세정보

- 저자 김대현
- 형태사항 152: 26 cm
- 일반주기 지도교수: 김광선
- 학위논문사항 2019. 8, 학위논문(박사)-, 한국기술교육대학교 일반대학원, 메카트로닉스공학과 메카트로닉스공학전공
- 발행지 천안
- 언어 kor
- 출판년 2019
- 발행사항 한국기술교육대학교 일반대학원
- 주제어 간접 냉각방식 냉각 냉동사이클 정전척 직접 냉각방식
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 22)

인용/피인용

직접 방식을 이용한 반도체 장비용 정전척 냉각에 관 ...

' 직접 방식을 이용한 반도체 장비용 정전척 냉각에 관한 연구 = A Study on Cooling of Electrostatic Chuck in Semiconductor Equipments using Direct Method' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	간접 냉각방식 냉각 냉동사이클 정전척 직접 냉각방식
27	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제어	간접 냉각방식	3	0	0.0%
	냉각	9	0	0.0%
	냉동사이클	11	0	0.0%
	정전척	1	0	0.0%
	직접 냉각방식	3	0	0.0%
계		27	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0