논문상세정보
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- 저자 김한준
- 형태사항 삽화, 도표: 26 cm: xx, 212 p.
- 일반주기 참고문헌 수록
- 학위논문사항 서울대학교 대학원, 재료공학부 재료공학전공, 2018. 2, 학위논문(박사)-
- DDC 22, 620.1
- 발행지 서울
- 언어 eng
- 출판년 2018
- 발행사항 서울대학교 대학원
- 주제어 (Hf Capacitor FeRAM Ferroelectric First order phase transition theory Non-volatile memory Pca21 Wake-up effect Zr)O2 Atomic Layer Deposition HfO2 Micro-structure ZrO2
