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- 저자 이강인
- 기타서명 국소영역 집속이온빔 화학기상증착을 이용한 나노구조물 제작
- 형태사항 26 cm: xi, 151 p.: 삽화, 도표
- 일반주기 참고문헌 수록
- 학위논문사항 학위논문(박사)-, 기계항공공학부 기계항공공학전공, 2018. 2, 서울대학교 대학원
- DDC 22, 621
- 발행지 서울
- 언어 eng
- 출판년 2018
- 발행사항 서울대학교 대학원
- 주제어 Focused ion Beam Precursor gas temperature Shape memory alloy Hausdorffdistance Microactuator
유사주제 논문( 864)