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- 저자 박지훈
- 형태사항 93장: 삽화: 26 cm
- 일반주기 지도교수: Hyun Jae Kim
- 학위논문사항 2016.2, School of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School, Yonsei University, 학위논문(박사)-
- 발행지 Seoul
- 언어 eng
- 출판년 2016
- 발행사항 Graduate School, Yonsei University
- 주제어 bias stress stability multi-stack oxide semiconductor oxygen vacancy sputtering thin film transistor 바이어스 스트레스 안정성 박막 트랜지스터 산소공극 산화물 반도체 스퍼터링