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- 저자 지원영
- 형태사항 viii, 105 p.: 26 cm
- 일반주기 지도교수: 주종남
- 학위논문사항 기계항공공학부, 서울대학교 대학원, Thesis(doctoral)-, 2015. 8
- DDC 621
- 발행지 서울
- 언어 eng
- 출판년 2015
- 발행사항 서울대학교 대학원
- 주제어 aluminum oxide Local anodic oxidation Local anodization Micro electrochemical machining RF antenna Scanning probe microscope lithography