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Hybrid Slurry Supply System Using Ionization and Atomization for Sustainable CMP = 지속 가능한 CMP를 위한 분무 및 이온화 기능을 갖춘 하이브리드 슬러리 공급시스템 이다솔 부산대학교 대학원[2020] Google Scholar네이버 전문정보
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP Jeong, Hae-do 정해도 정선호 이다솔 박인호 Park, In-Ho Lee, Da-Sol Jeong, Seon-ho The Korean Society of Manufacturing Process Engineers[2018] Google Scholar네이버 전문정보