Sung, Gi Hyun

검색결과
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유한요소해석을 이용한 알루미나 정전척의 글라스 기판 흡착 특성 연구 Jang, Kyung Min 장경민 이재영 성기현 민동균 김혜동 강재규 Sung, Gi Hyun Min, Dong Kyun Lee, Jae Young Kim, Hye Dong Kang, Jae Gyu 한국반도체디스플레이기술학회[2020] Google Scholar 네이버 전문정보