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N-polar면의 선택적 에칭 방법을 통한 Free-standing GaN 기판의 Bowing 제어
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Gim, Jinwon
황종희
전대우
임태영
이혜용
이영진
이미재
윤대호
손호기
김진호
김진원
Yoon, Dae-Ho
Son, Hoki
Lim, Tea-Young
Lee, YoungJin
Lee, Mijai
Lee, Hae-Yong
Kim, Jin-Ho
Jeon, Dae-Woo
Hwang, Jonghee
한국전기전자재료학회[2016]
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