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SiC 기판상에 반응 스퍼터링에 의해 형성된 TiO
2
막의 수소가스 검지 특성
Kim, Seong-Jeen
김성진
한국전기전자재료학회[2016]
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고온에서 Pd 전극의 형태가 수소 센서의 감도에 미치는 영향
Kim, Seong-Jeen
김성진
한국전기전자학회[2018]
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