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RF 스퍼터법을 이용한 Li
2
MnSiO
4
리튬 이차전지 양극활물질 박막 제조 및 전기화학적 특성
Chae, Suman
채수만
심중표
선호정
Sun, Ho-Jung
Shim, Joongpyo
한국전기전자재료학회[2017]
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