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CVD/ALD 장비를 이용한 a-Si 및 SiOx 박막의 특성
강상준(Sang-Jun Kang)
천홍빈(Hong-Bin Chen)
찬타솜바스 시사바이(Chanthasombath Sisabay)
주재홍(Jae-Hong Joo)
김광호(Kwang-Ho Kim)
한국정보기술학회[2016]
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