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상온에서 성막한 고감도의 Al1-xScxN 박막의 압력 감지 특성
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강양구 ( Yang Koo Kang )
홍연우 ( Yeon Woo Hong )
주병권 ( Byeong Kwon Ju )
이영진(Young-Jin Lee)
석혜원 ( Hye Won Seok )
김세기 ( Sei Ki Kim )
한국센서학회[2014]
Google Scholar네이버 전문정보
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MEMS 기반 안전 소자에 대한 액정 폴리머 패키지의 밀폐도 연구
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김용국 ( Yong Kook Kim )
최진일 ( Jinnil Choi )
주병권 ( Byeong Kwon Ju )
[2015]
Google Scholar네이버 전문정보
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Pressure Sensing Properties of AlN Thin Films Sputtered at Room Temperature
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강양구 ( Yang Koo Kang )
홍연우 ( Yeon Woo Hong )
주병권 ( Byeong Kwon Ju )
이영진 ( Youn Jin Lee )
석혜원 ( Hye Won Seok )
김세기 ( Sei Ki Kim )
한국센서학회[2014]
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