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에어로졸 데포지션으로 제조된 4H-SiC 위 Al₂O₃ 게이트 산화막의 후열처리 공정에 따른 전기적 특성
강민재(Min-Jae Kang)
조명연(Myung-Yeon Cho)
이남석(Nam-suk Lee)
오종민(Jong-Min Oh)
신훈규(Hoon-Kyu Shin)
김홍기(Hong-Ki Kim)
김성준(Seong-jun Kim)
구상모(Sang-Mo Koo)
한국전기전자학회[2018]
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