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Pulling rate, rotation speed 및 melt charge level 최적화에 의한 쵸크랄스키 공정 실리콘 단결정의 O2 불순물 최소화 설계
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김나영 ( Na Yeong Kim )
황선희 ( Seon Hee Hwang )
정재학 ( Jae Hak Jung )
전혜준 ( Hye Jun Jeon )
송수진 ( Su Jin Song )
블라디미르아르테미예프 ( Vladimir Artemyev )
박주홍 ( Ju Hong Park )
한국화학공학회[2020]
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