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유한요소해석을 이용한 알루미나 정전척의 글라스 기판 흡착 특성 연구
Jang, Kyung Min
장경민
이재영
성기현
민동균
김혜동
강재규
Sung, Gi Hyun
Min, Dong Kyun
Lee, Jae Young
Kim, Hye Dong
Kang, Jae Gyu
한국반도체디스플레이기술학회[2020]
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